什么是液體泄漏傳感器?
??液體溢出傳感器是檢測(cè)化學(xué)液體、水等泄漏的傳感器。
當(dāng)生產(chǎn)設(shè)施等處理的化學(xué)液體儲(chǔ)存罐發(fā)生泄漏時(shí),作為防止初期大量化學(xué)液體泄漏造成化學(xué)損害的安全措施。它還可用于早期發(fā)現(xiàn)公寓大樓和大型建筑物的供水泄漏和污水泄漏。
近年來(lái),隨著檢測(cè)技術(shù)的進(jìn)步,除了利用液體的電導(dǎo)率的傳統(tǒng)檢測(cè)方法外,還建立了利用光纖傳感器的光電檢測(cè)方法,使其能夠兼容含有各種化學(xué)物質(zhì)的液體。
漏液傳感器的使用
液體泄漏傳感器安裝在使用化學(xué)溶液和純水等液體的生產(chǎn)設(shè)備和機(jī)器的管道和管道接頭周圍,液體儲(chǔ)罐和液體泵中發(fā)生的冷凝,冷卻管道,通風(fēng)室等。這樣可以及早發(fā)現(xiàn)液體泄漏。
1、半導(dǎo)體制造設(shè)備中的凝露、液體泄漏檢測(cè)
設(shè)備周圍安裝有液體泄漏傳感器,用于檢測(cè)清潔設(shè)備內(nèi)部的凝結(jié)以及向周圍區(qū)域的液體泄漏。
2、化學(xué)品儲(chǔ)罐管接頭泄漏檢測(cè)
通過(guò)將液體泄漏傳感器纏繞在液體可能泄漏的區(qū)域(例如管道接頭)來(lái)檢測(cè)液體泄漏。
3、CMP設(shè)備計(jì)量槽液體泄漏檢測(cè)
液體泄漏傳感器可檢測(cè)液體泄漏到 CMP 設(shè)備的排水盤中,從而拋光和平整晶圓表面,防止設(shè)備損壞和晶圓清潔失敗。
4、防爆區(qū)域漏油檢測(cè)
泄漏傳感器檢測(cè)生產(chǎn)設(shè)備和防爆區(qū)域設(shè)備使用的液壓缸等液壓驅(qū)動(dòng)設(shè)備的漏油情況。
5、大型公寓、辦公樓漏水檢測(cè)
利用漏水傳感器可以遠(yuǎn)程檢測(cè)大型建筑的供水設(shè)備、供水管道、污水管道的漏水情況,并及時(shí)采取措施。
漏液傳感器原理
液體泄漏傳感器大致分為接觸式檢測(cè)方式,主要利用液體的電導(dǎo)率進(jìn)行檢測(cè),以及光電檢測(cè)方式,利用反射和透射,例如光纖傳感器進(jìn)行檢測(cè)。
1. 導(dǎo)電型
當(dāng)液體與液體泄漏傳感器的兩個(gè)電極接觸時(shí),電流流過(guò)液體并檢測(cè)到液體泄漏。這是一種接觸式,利用液體的電導(dǎo)率來(lái)檢測(cè)電極之間的電阻。
采用這種檢測(cè)方式的泄漏傳感器具有線性傳感器部分,因此可以檢測(cè)長(zhǎng)距離,來(lái)回移動(dòng)以檢測(cè)大范圍,甚至可以纏繞在其上進(jìn)行檢測(cè)。
2.光電式
光電型是使用光纖將來(lái)自光源的光投射到物體上并檢測(cè)反射或透射的光量的泄漏傳感器。傳感器單元內(nèi)置有紅外線、LED等發(fā)光/受光機(jī)構(gòu),當(dāng)液體接觸到檢測(cè)單元時(shí),通過(guò)改變光的反射率和透過(guò)率、減少光量來(lái)進(jìn)行檢測(cè)。還有非接觸式傳感器。
如何選擇泄漏傳感器
液體泄漏傳感器的類型有很多種,具體取決于檢測(cè)部分的形狀、液體、使用環(huán)境、功能、用途等。
1、檢測(cè)部分形狀
使用檢測(cè)特定點(diǎn)泄漏的類型、長(zhǎng)線類型、帶類型和光纖類型。產(chǎn)品具有良好的柔韌性,可以纏繞在管道或物體上,以檢測(cè)大范圍的區(qū)域。
2. 目標(biāo)液體/使用環(huán)境
對(duì)于液體泄漏傳感器,可以根據(jù)液體的類型來(lái)選擇傳感器部件。它由氟樹脂、聚丙烯樹脂、聚乙烯樹脂等覆蓋,與水、純水、酸、堿性溶液等相容。
還需要考慮使用環(huán)境。選擇能夠長(zhǎng)期承受溫度范圍、大氣、振動(dòng)、風(fēng)雨等的產(chǎn)品。如有必要,請(qǐng)使其防爆。
3. 功能/應(yīng)用
選擇泄漏傳感器時(shí),應(yīng)考慮檢測(cè)部分、電路/控制部分和報(bào)警位置之間的連接是有線還是無(wú)線、是否需要電源、是否僅控制報(bào)警。